1)激光器系统
2)外光路系统
3)X/Y/theta三轴精细运动系统
4)机器人上下料系统
5)寻边定位系统
6)高速扫描振镜系统
7)调焦对焦系统
8)抽气除尘系统(净化)
9)逻辑控制系统
10)花岗岩基座平台
激光类型 |
紫外激光
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光束质量
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≥90%
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激光功率 |
3W / 5W / 8W / 10W
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激光波长
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355nm
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加工材料
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ND:YVO4
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光斑模式
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TEM00(≤1.2) 基膜
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工作幅面
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70mm×70mm/100mm×100mm/150mm×150mm (可选)
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最大打标速度
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≤7000mm/s
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最小线宽
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0.01mm
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最小光斑直径
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15um
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光斑入射角
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Mrad<2
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最小字符
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0.15mm
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重复精度
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±0.003mm
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脉冲频率
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20KHz-200KHz
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电源
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220v/50Hz/10A
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冷却系统
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风冷
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