100mm×100mm
200mm×200mm
(可选)
100mm×100mm、200mm×200mm
前聚焦可调至500mm×500mm
温度:1℃~35℃
湿度:5%~75%
要求设备应用环境通风无尘
激光腔体:1220 mm×200 mm×210 mm
控制系统:550 mm×640 mm×1100 mm